Skytech는 고급 반도체 장비 개발의 어려움을 극복하고 ALD(Atomic Deposition Layer) 장비를 개발하여 ALD 박막 솔루션의 "대량 생산"을 달성한 최초의 대만 장비 공급업체가 되었습니다. ALD 장비가 Epistar에 의해 검증되고 채택됨에 따라 Skytech는 Epistar의 상용화된 응용 프로그램을 촉진하기 위한 노력에 기여했습니다.주도의기술.
2002년에 설립된 Skytech는 대만의 주요 반도체 부품 공급업체입니다. 2017년에는 반도체 소자 제조의 핵심 장비 개발에 투자하기 시작했다. 현재 Skytech는 PVD 기계(NexdaTM), ALD 및 분말 ALD 도구(AtomilaTM), 본딩 시스템(Bondela Bonder), 디본딩 시스템(Catapulta Debonder), 레이저 리프트 오프 기계 및 웨이퍼 로봇을 포함한 여러 자체 개발 장치를 제공합니다. (스키와).
Skytech CEO Vic Lin은 대만 경제부의 지원 하에 회사가 Mini/Micro LED 생산을 위한 완전한 ALD 박막 솔루션 세트를 개발했다고 밝혔습니다. Epistar에 제공되는 장비는 독특한 반응 공동과 조정 가능한 전구체 공급 설계가 특징입니다. 제작된 ALD 박막은 우수한 코팅 균일성과 반복성, 바람직한 관통 저항, 높은 투과율, 낮은 전구체 선량을 갖는다.
더 발전된 마이크로 LED 장비 개발과 관련하여 Lin은 마이크로 LED 스크린이 더 작은 빨강, 녹색 및 파랑 미세 픽셀로 구성되어 있으며 이 중 제조 공정이 내부의 섬세한 나노 구조에 손상을 입히고 광도 손실을 쉽게 일으킬 수 있다고 지적했습니다.
이 문제를 해결하기 위해 스카이텍은 Micro LED 제작 중 구조적 손상을 수리하고 광도를 사전 제작 수준 또는 더 높은 수준으로 되돌리는 사전 패시베이션 기술을 개발하고 있습니다. 스카이텍은 다양한 LED 공급업체와 긴밀히 협력하고 있습니다.
